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  • 平台简介

168体育app院微纳加工与测试平台成立于2020年12月,构筑了一处面积约为500平方米的高科技研究基地,集成了微纳器件制备与加工实验室、材料与器件精密表征实验室以及先进的光致刻蚀与材料改性实验室三大功能区块,配备各类精密仪器设备共计超过20台套。

该平台面向校内及校外广大师生开放,致力于提供全方位、高水平的科研支持服务。平台内部布局遵循严格的操作环境要求,划分为超净间区域和非超净间区域两个部分。其中,超净间设施专为对洁净度要求极高的微纳器件加工与测试实验设计,确保实验过程不受污染干扰;而非超净间区域则主要服务于材料的基础性质分析与表征工作。

平台的一大亮点在于其特别注重满足用户对于复杂工艺流程和精细加工条件探索的需求,不仅配备了业内领先的设备,还鼓励并支持师生通过专业培训亲自动手操作这些高端设备,从而在实践中提升科研技能与创新能力。

  • 平台现有设备

超净间非超净间
扫描电子显微镜&电子束曝光单晶和粉末X射线衍射仪
紫外掩模板光刻机X射线单晶Laue定向仪
热蒸发及电子束蒸发复合镀膜设备光学浮区炉
反应离子刻蚀机原子力显微镜
紫外直写光刻机半导体器件参数分析仪
原子层沉积系统超声焊线机
等离子体灰化机临界点干燥仪
光学显微镜,等离子体清洗机,甩胶机,加热板,真空干燥箱热蒸发镀膜仪


  • 今年计划安装设备

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Quantum design,14T,2-400K 综合物性测量系统

Raith pioneer TWO 电子束曝光系统,精度8nm

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Oxford PlasmaPro 80,等离子体刻蚀系统,20cm wafer

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Kurt j. Lesker PVD 200,热蒸发&电子束蒸镀设备,8int wafer


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